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邁向高端芯片制造--歐姆龍核心技術(shù)【溫度均一控制】強勁來襲

2018-04-27 07:15 性質(zhì):轉(zhuǎn)載 作者:歐姆龍 來源:歐姆龍
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芯片是信息產(chǎn)業(yè)的糧食。沒有它,從個人電腦、智能手機、數(shù)碼消費產(chǎn)品,到功能強大的服務(wù)器以及所有包含復(fù)雜計算的技術(shù)設(shè)備,都難以運轉(zhuǎn)。2017年全球芯片銷售突破4000億美元,中國芯片進(jìn)口超...

芯片是信息產(chǎn)業(yè)的糧食。沒有它,從個人電腦、智能手機、數(shù)碼消費產(chǎn)品,到功能強大的服務(wù)器以及所有包含復(fù)雜計算的技術(shù)設(shè)備,都難以運轉(zhuǎn)。

2017年全球芯片銷售突破4000億美元,中國芯片進(jìn)口超過2600億美元,需求量極大。但在供給側(cè),中國芯片自給率只有百分之十幾,離“中國制造2025”提出的到2020年實現(xiàn)40%自給率、到2025年實現(xiàn)70%自給率目標(biāo)尚遠(yuǎn)。中國能生產(chǎn)全球4K電視機的40%以上、智能手機的75%以上、電腦的80%以上,但其中的芯片主要靠進(jìn)口。在大部分高端芯片領(lǐng)域,中國基本還是空白。

近段時間鬧的滿城風(fēng)雨的“中興風(fēng)波”,其實已經(jīng)從側(cè)面反映了這個問題。國內(nèi)的高端芯片制造,究竟該何去何從?



歐姆龍提出“Integrated”*1,致力于為制造業(yè)革新創(chuàng)出提供核心技術(shù)力,為客戶創(chuàng)造更簡單更靈活的制造現(xiàn)場,實現(xiàn)高速?高精度生產(chǎn),賦予生產(chǎn)更多智能。為此,歐姆龍自動化(中國)有限公司啟動核心技術(shù)第七彈:【溫度均一控制技術(shù)】,助力實現(xiàn)高端芯片的制造!


眾所周知,晶圓,是制造芯片的基本材料,在制造過程中,需要對晶圓進(jìn)行精密的熱加工,但由于多點加熱的速度和均勻性無法兼顧,導(dǎo)致最終芯片成型的品質(zhì)難以保證。

【溫度均一控制技術(shù)】可輕松解決加熱不均的課題,實現(xiàn)每個點升溫速度的統(tǒng)一,確保晶圓加工的高品質(zhì),邁向高端芯片制造,確保品質(zhì)是第一步!

應(yīng)用場合

此項技術(shù)不僅應(yīng)用于晶圓加工,還能夠為注塑成型、玻璃熱彎、壓縮成型等工藝帶來品質(zhì)與效率的提升。

技術(shù)優(yōu)勢

一.升溫均衡

根據(jù)目標(biāo)值響應(yīng)將溫差控制為原有的1/5,保證每一點的溫度均衡。


二.抑制溫差波動

根據(jù)干擾響應(yīng)將溫差控制為原有的1/5,將溫差消失時間控制為原有的一半以內(nèi)。


三.調(diào)試時間縮短

只需簡單設(shè)定,即可實現(xiàn)整個空間或表面分布同一指定溫度。


*1. “Integrated”來源于

歐姆龍“i-Automation!”理念。


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