

高性能專用搬運機(jī)器人
用于半導(dǎo)體和電子行業(yè)
川崎提供了業(yè)界領(lǐng)先的全系列半導(dǎo)體和電子搬運機(jī)器人。這些機(jī)器人是專為在無塵室中應(yīng)用而制造的,包括ISO 1級。速度、準(zhǔn)確度以及伸展范圍使這些機(jī)器人適合搬運精密的半導(dǎo)體晶圓、LCD面板、有機(jī)EL,以及太陽能電池板。
NT系列無塵機(jī)器人
用于半導(dǎo)體、有機(jī)EL、LCD面板、太陽能面板。長伸展距離水平手臂。
NT系列無塵機(jī)器人設(shè)計的目的是讓一個機(jī)器人可以伸展開來管護(hù)多達(dá)四個FOUP而不必使用線性軸。NT系列采用下一代設(shè)計,以400晶片每小時(WPH)的速率來搬運300mm或450mm晶圓,而沒有使用校準(zhǔn)器。


















